Pochopte, jak je realizován proces vakuového povlaku

Vakuový povlakje proces používaný k výrobě vysoce kvalitních tenkovrstvých materiálů. Vytváří tenké filmy tepelně odpařením nebo rozprašováním organických nebo anorganických materiálů na povrch substrátu za vakuových podmínek. Tento článek podrobně představí implementaci vakuového povlaku.

Proces vakuového povlaku obsahuje následující kroky:

1. Vyberte správný substrát a materiál

Výběr správného substrátu a materiálu je prvním krokem ve vakuovém povlaku. Substrátem může být skleněná, plastová, kovová nebo jiná nanomateriály. Materiály mohou být organické nebo anorganické, jako jsou kovy, polovodiče, oxidy nebo nitridy.

2. Načíst systém vakuového povlaku

Druhým krokem je načtení substrátu a materiálů do vakuového povlakového systému. Vakuový potahový systém zahrnuje vakuovou komoru, kovový výparník, rozprašování a řídicí systém. Vakuová komora je uzavřený prostor používaný k udržování vakuového prostředí, kovové odpařovače a rozpadající se jsou zařízení používaná k odpařování nebo rozprašování materiálů na substráty a řídicí systém se používá ke sledování a úpravě prostředí vakua a odpařování materiálu nebo rychlosti nápravu.

3. vakuum

Po naložení materiálu a substrátu by měla být evakuována vakuová komora. Vysávání je velmi důležitým krokem, protože udržování nízkého tlaku a prostředí s vysokou čistotou může zaručit kvalitu membrány. Vakuové prostředí je obvykle pod 10^-6 mbar pro vyloučení molekul plynu a dalších znečišťujících látek.

4. odpařování nebo rozprašování materiálu

Když vakuové prostředí dosáhne požadovaného tlaku, může být materiál odpařen nebo rozprašován na substrát. Existují dvě metody odpařování materiálu: tepelné odpařování a odpařování elektronového paprsku. Rozprašování má také dvě metody: rozprašování magnetronu a rozprašování oblouku. Ať už se používá jakákoli metoda, je třeba ovládat odpařování materiálu nebo rychlost rozprašování a tloušťka filmu.

5. Natočte vícevrstvý film

Jakmile je vyrobena jednovrstvá membrána, může být více vrstev naskládáno dohromady, aby se vytvořil kompozit. Lze použít různé materiály a depoziční procesy, jako je střídání depozice, více-zbraňový materiál ko-depozice a depozice zónů.

6. Zkouška kvalita membrány

Posledním krokem je testování kvality membrány. Testy mohou mimo jiné zahrnovat tloušťku, fyzikální vlastnosti, optické vlastnosti a elektrické vlastnosti. Zjistěte, zda materiál membrány splňuje požadavky podle výsledků testu.

Stručně řečeno, technologie vakuového povlaku je metodou k dosažení vysoce kvalitních tenkých filmů. Musí si vybrat příslušný substrát a materiál, načíst vakuový povlak, vysazovat, materiál se odpařit nebo rozprašovat, natočit vícevrstvý film a otestovat kvalitu filmu. Technologie vakuového povlaku byla široce používána v elektronice, optice, lékařských a energetických oblastech.